Магнетронное напыление защитных покрытий на детали поверхностей изделий и инструментов с использованием изготовленных по новой технологии многоэлементных мишеней.
DOI:
https://doi.org/10.31489/2022No3/34-38Ключевые слова:
магнетронное напыление, защитное покрытие, многоэлементные мишениАннотация
В последнее время использование магнетронного напыления для нанесения защитных покрытий интенсивно развивается. Большая перспектива использования этого метода обусловлена за счет возможности нанесении высокоэнтропийных покрытий, которые используются для защиты поверхностей, подвергающих одновременному воздействию повышенных температур, агрессивных сред и различным видам износа. В данной работе предложен способ изготовления новых видов мишеней для магнетронного напыления, с подробно описанной технологической цепочкой их изготовления. Новизна заключается в возможности при использовании одной мишени нанесения многоэлементных покрытий. Это обусловлено тем, что количество различных элементов в мишени может измеряться десятками. Также в работе приведен полученный положительный результат использования при магнетронном напылении мишени, в состав которой входило пять различных металлов.
Библиографические ссылки
Reshetnyak E.N., Strelnitsky V.E. Synthesis of strengthening nanostructured coatings Issues of Atomic Science and Technology. 2008. No. 2. pp. 119-130. [in Russian]
Yurov V.M., Laurinas V.Ch., Guchenko S.A. et al. Structure and properties of multiphase ion-plasma coatings. Karaganda: Publishing and Printing Center of the Kazakh Russian University, 2013, 150 p. [in Russian]
Guchenko S.A., Eremin E.N., Zavatskaya О.N., et al Effect of N2 and Ar on the properties of multicomponent ion-plasma coatings 12Х18Н10Т+Cu+Al IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series. 2019. 1260, 062009.
Eremin, E.N., Yurov, V.M., Laurynas, V.Ch. Influence of ION-plasma spraying regimes on the formation and properties of multi-element coatings Journal of Physics: Conference Series, 2020, 1441(1), 012006.
Cha S. (eds.) Consumption Due to Friction in Motored Vehicles and Low-Friction Coatings to Reduce It. Springer International Publishing Switzerland: Coating Technology for Vehicle Applications. 2015. 248 p.
Hоlmberg K., Erdemir A. Influence of tribology on global energy consumption, costs and emissions. VTT Technical Research Centre of Finland, 2017, 360 p.
Urbahs A. (eds.) Evaluation of the Physical and Mechanical Characteristics of Ion-Plasma Antifriction Coatings Based on Ti-Cu. Trans Tech Publications Ltd, Switzerland: Key Engineering Materials Submitted, 2018. 366 p.
